仕様(CE・UL)適合
種類サーボモーター
取付方式フランジ取付
電源交流
保護等級IP67
定格回転速度(min-1[r.p.m])3000
最高回転速度(min-1)6000
エンコーダ種類バッテリバックアップ方式アブソリュートエンコーダ
ケーブル種類リード線出し
種類サーボモーター
取付方式フランジ取付
電圧(V)200
電源交流
保護等級IP67
定格回転速度(min-1[r.p.m])3000
最高回転速度(min-1)6000
エンコーダ種類バッテリレスアブソリュートエンコーダ(Model No. HA035)
ケーブル種類リード線出し
メーカー従来品と比べて、瞬時最大トルクが約17%向上し、最高回転速度が20%向上しました。
速度・トルク性能の向上により,位置決め時間が短縮できます。
メーカー従来品と比べて、質量が約8.5%低減しました。
チップマウンタのヘッド機構などの可動部を軽量化することができ、装置のさらなる高速化を実現します。
メーカー従来品と比べて、電力損失が約20%低減しました。
エネルギーのロスが少ないので、装置の発熱を低減し、省エネルギーに貢献します。
用途チップマウンタ、ボンダやハンドラなどの半導体製造装置、一般産業機械
種類サーボモーター
取付方式フランジ取付
電圧(V)48
電源直流
サイズ(mm)□20
定格回転速度(min-1[r.p.m])3000
最高回転速度(min-1)6000
種類ステッピングモーター
取付方式フランジ取付
分解能(エンコーダ基本分解能)4000P/R
モデル電磁ブレーキ付モデル
種類ステッピングモーター
取付方式フランジ取付
電源五相
端末仕様コネクタ付きリード線
ケーブル長(mm)500
通信速度100Mbps、最短通信周期125secの高速通信により、位置・速度などの指令がより細分化され、装置の動作がスムーズになります。
4軸一体型ですので、小型・省スペースです。
チップマウンタなど実装スペースが限られている装置に最適です。
発生した回生電力を他のモータの電力として使用することができます。
装置の省エネルギー化に貢献します。
同期機能: 制御ユニット内で各軸のエンコーダ信号をフィードバックし、サーボモータのタンデム運転が可能。
用途チップマウンタ、半導体製造装置、搬送装置など
タイプエンクロージャタイプ
外形寸法(幅W×高さH×奥行D)(mm)50×200×130
制御電源DC24V±10%
主回路電源DC48V±10%
制御軸数(最大)4軸(EtherCATインタフェース)
安全機能ハードウェアゲートオフ
プロファイル(デバイス)CAN application protocol over EtherCAT(CoE)
メーカー従来品に対し振動を約30%低減しました。
新規開発したモータと組み合わせることで、約5%トルクが向上します。
入力の電源電圧AC100VとAC200Vの出力トルクが同等ですので、電源仕様が変更になってもモータを変更する必要がありません。
解析機能・装置立上げ支援でエンコーダ付モータを使用すると、位置・速度などの運転状態のモニタが可能です。
振動・脱調が発生した際の原因究明が容易です。
モータの電磁ブレーキ用電源を搭載し、開閉タイミングを自動制御します。
ブレーキ用の外部電源は不要です。
メーカー従来品に比べ、体積を29%低減しました。
用途半導体関連装置・一般産業機械・食品機械・医療装置など
質量(kg)0.65
種類ドライバ
外形寸法(mm)(ドライバ)40×160×120
機能制御モード、パルス入力方式、低振動モード、モータ選択、ステップ角度、運転電流
表示LED状態表示、アラーム表示
保護機能過電圧保護、電源電圧低下保護、過熱保護、過電流保護
適合フランジ幅(mm)42角、60角、86角
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