エアを引きっぱなしのため、ウエハーに近づけるだけでウエハーが吸着します。
ボタンひとつでウエハーの着脱が可能です。
本体は導電性に優れた炭素繊維入りナイロン樹脂(トレカ)を用いています。
吸着チップは耐薬品性、耐熱性、強靱性に優れた導電性PEEK樹脂を使用しています。
抵抗値(固有)10-6Ω
質量(g)20.8
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