色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータのシートタイプです。ラジカル性プラズマ検知に適しています。A4サイズのシート型なので、面内均一性を一目でチェックすることができます。感度は高感度、中感度、低感度の3種類からお選びいただけます。
用途O2をはじめ、N2、Air、CF4、H2、NH3などラジカル性のプラズマ検知用。O2ラジカルに反応するのでUV洗浄・UVオゾン洗浄にもお使いいただけます。
材質【検知部】有機色材、レジン
寸法(mm)(検知部)190×290
材質(本体)PET
本体寸法(mm)210×297×0.2
耐熱温度(℃)100
取扱説明書(0.36MB)
色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータのカードタイプです。ラジカル性プラズマ検知に適しています。感度は高感度、中感度、低感度の3種類からお選びください。
用途O2をはじめ、N2、Air、CF4、H2、NH3などラジカル性のプラズマ検知用。O2ラジカルに反応するのでUV洗浄・UVオゾン洗浄にもお使いいただけます。
材質【検知部】有機色材、レジン
材質(本体)PET
径(Φmm)(検知部)11
本体寸法(mm)20×70×0.2
耐熱温度(℃)100
取扱説明書(0.37MB)
色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータのラベルタイプです。ラジカル性プラズマ検知に適しています。高感度、中感度、低感度の3種類からお選びください。
用途O2をはじめ、N2、Air、CF4、H2、NH3などラジカル性のプラズマ検知用。O2ラジカルに反応するのでUV洗浄・UVオゾン洗浄にもお使いいただけます。
材質【検知部】有機色材、レジン
材質(本体)PET
径(Φmm)(検知部)11
本体寸法(mm)20×70×0.2
耐熱温度(℃)100
取扱説明書(0.37MB)
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