形状ストレート
ハンドル形状ローレット式
使用圧力900000～1×10-3Pa
ベーク温度(℃)60
リーク量(mbarL/s)10-6(バルブ)、10-7(カプリング)
材質(本体)アルミシリコン合金
バルブ種類ダイヤフラムバルブ
使用圧力900000～1×10-3Pa
リーク量(mbarL/s)10-6(バルブ)、10-7(カプリング)
ベーク温度(℃)60
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