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あらゆる産業を支える基礎技術のひとつである真空技術。本書では、半導体産業に焦点をあて、そこで使われている真空技術についてまとめた。できるだけ数式を使わず、理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。
ジャンル機械 分類専門 判型A5 ページ数219 著者名宇津木勝 初版年月2011/05
1冊
2,500 税込2,750
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