バルブとは配管の中を流れるものの圧力や、分量を調整するための機器のことです。配管の中を通る流体物の種類やバルブ自体の素材、構造の違いによって多くの種類に分けることができます。よく使用されているのはゲートバルブ、グローブバルブ、ボールバルブなどで、ゲートバルブは対応できる条件が広いことが特徴です。グローブバルブは外観が玉型(globe)で、ゲートバルブよりもバルブの開閉時間が短い構造になっています。ボールバルブは操作性が良く、材質もサイズも豊富で幅広い用途に使われています。
使用圧力900000～1×10-3Pa
リーク量(mbarL/s)10-6(バルブ)、10-7(カプリング)
ベーク温度(℃)60
形状ストレート
ハンドル形状ローレット式
使用圧力900000～1×10-3Pa
ベーク温度(℃)60
リーク量(mbarL/s)10-6(バルブ)、10-7(カプリング)
材質(本体)アルミシリコン合金
バルブ種類ダイヤフラムバルブ
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