チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状ストレート
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
最高使用圧力(MPa)0.7
使用流体圧縮空気
ボディ、プッシュリングは難燃性樹脂を採用
金属部品は、すべてステンレス標準採用
用途チューブの接続
最高使用圧力(MPa)1
使用流体圧縮空気
チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします
形状バルクヘッド
使用流体圧縮空気
最高使用圧力(MPa)1
使用温度(℃)-10~60(但し凍結なきこと)
使用チューブソフトナイロンチューブ(F-12※※)/ウレタンチューブ(U-95※※,NU-※※)
負圧性能(kPa)-100
作動方式パイロット式
弁構造パイロット式ポペット構造 ダイアフラム駆動
水・空気・ガス・油など多種類の流体を制御するマルチレックスバルブの防爆仕様です。
ポート数2
ねじの種類Rc
作動方式NC(通電時開)形
ポート数2
作動方式単動形・押出し形
作動方式NO(通電時閉)形
作動方式NC(通電時開)形
ポート数2
最高使用圧力(MPa)2
接続方式Rc
耐圧力(MPa)8(水圧にて)
弁構造パイロット式ポペット構造 ダイアフラム駆動
作動方式NO(通電時閉)形
ポート数2
最高使用圧力(MPa)2
接続方式Rc
耐圧力(MPa)25(水圧にて)
弁構造直動式ポペット構造
作動方式NO(通電時閉)形
ポート数2
作動方式NC(通電時開)形
ポート数2
作動方式NC(通電時開)形
ポート数2
最高使用圧力(MPa)2
接続方式Rc
耐圧力(MPa)10(水圧にて)
弁構造パイロット式ポペット構造 ピストン駆動
作動方式NO(通電時閉)形
ポート数2
作動方式NC(通電時開)形
ポート数2
耐圧力(MPa)3.2(水圧にて)
弁構造パイロット式ポペット構造 ピストン駆動
作動方式NC(通電時開)形
ポート数2
最高使用圧力(MPa)1
耐圧力(MPa)3.2(水圧にて)
弁構造パイロット式ポペット構造 ダイアフラム駆動
作動方式NO(通電時閉)形
ポート数2
最高使用圧力(MPa)2
接続方式Rc
耐圧力(MPa)4(水圧にて)
弁構造パイロットキック式ポペット構造 ダイアフラム駆動
作動方式NO(通電時閉)形
ポート数2
接続方式Rc
耐圧力(MPa)10(水圧にて)
弁構造パイロット式ポペット構造 ピストン駆動
設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。1本の検出チューブにて4点の液面検出が可能なKML60シリーズと1点の液面検出が可能なKML502シリーズの混合搭載が可能なマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適
仕様【KML60-4】(スイッチング水位)10~1000mm/ユーザー任意接点4点
電源電圧【KML60-4】DC12~24V ±10% 電圧リップル率 5%以下
チューブ長さ(m)5以下
スイッチ出力【KML60-4】NPNオープンコレクタ4点(DC28V 80mA 以下)
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