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ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。 サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。 シンプル構造でメンテナンスも容易です。

減圧・加圧両用タイプのダイアフラム型真空ポンプは、吸気口に配管することにより、真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。 接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 小型、軽量、低価格 サーマルプロテクターを内蔵し、安全面も考慮 シンプルな構造でメンテナンスも容易

各種真空装置に用いられる油回転し空ポンプ専用のオイルフィルトレーション装置です。 使用しているエレメントは、水分・Ⅲ・粒子の除去機能を併せ持つ特殊なエレメントで、積層吸着により高精度で大量に処理できます。 真空ポンプとポンプ油を長期にわたって清浄に保ち、真空ポンプの故障、オイル交換の低減をはかることが可能になります。

ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。 複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。