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粒子径70-100nmの非常に細かいシリカ砥粒を分散させたスラリーです。シリコンウェハの研磨では、CMP効果により精密な表面状態を保ちながら大きな研磨レートで加工ができます。
用途シリコンウェハ表面などの精密研磨 適合粒子径:70-100nm,(D50) pH2025/11/13
1本(1kg)ほか
4,598 税込5,058
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