種類xyステージテーブル長さ(mm)60テーブル幅(mm)60耐荷重(N)58.8移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)質量(kg)0.42クランプ板クランプ平行度(mm)0.050、運動の平行度:0.020材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.10、ピッチ剛性:0.40、ロール剛性:0.40