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フットプリント削減に貢献 特殊構造により弁閉時の衝撃を低減。パーティクルの発生を抑制。 耐薬品性物質を採用 高圧/高背圧対応

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7

フットプリント削減に貢献。特殊構造により弁閉時の衝撃を低減。パーティクルの発生を抑制。耐薬品性物質を採用。高圧/高背圧対応

・全波整流器内蔵(ACの場合) ・長寿命：5000万回以上。 ・パイロット弁にストレーナ内蔵。 ・外部パイロット形は真空使用可能。 ・マニホールド型式：VV3P3，VV3P5，VV3P7

・特殊ダイヤフラム構造によって、ゆっくりとした弁の開閉が行われ、液のマイクロバブルの発生を抑えます。 ・液が流れやすくデッドスペースをなくした本体設計に加え、継手一体型でねじ接続部の液残溜を極少とし、優れた置換特性を発揮します。 ・酸・アルカリ・超純水など薬液に対応。 ・ガイドリングを設けてピストンの横振れによるシート面のズレを防止。 常に一定のあたり面で漏れを防ぎ、低発塵・長寿命となります。 ・ダイヤフラムの動きをバッファでサポートし、ダイヤフラムの変形・破損を防ぎ、背圧に強く長寿命を実現しました。

・特殊ダイヤフラム構造によって、ゆっくりとした弁の開閉が行われ、液のマイクロバブルの発生を抑えます。 ・液が流れやすくデッドスペースをなくした本体設計に加え、継手一体型でねじ接続部の液残溜を極少とし、優れた置換特性を発揮します。 ・酸・アルカリ・超純水など薬液に対応。 ・ガイドリングを設けてピストンの横振れによるシート面のズレを防止。 常に一定のあたり面で漏れを防ぎ、低発塵・長寿命となります。 ・ダイヤフラムの動きをバッファでサポートし、ダイヤフラムの変形・破損を防ぎ、背圧に強く長寿命を実現しました。