金属製ブロック・ニードルバルブ付構造でありながらコンパクトでローコストな流量計です。
優れた流量調整性でなめらかな流量調整が可能です。
RoHS指令対応品です。
用途機器組み込み用に。
ガスパージ計測用に。
接続部のサイズRc1/8
質量(g)250
目盛10:1(有効目盛)
精度FS±10%
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)0.5
材質/仕上本体:真鍮 パッキン:ニトリルゴム(NBR)
RoHS指令(10物質対応)対応
精密流量制御のできるニードルバルブを組み合わせた高級グレードのバルブ付フローメータです(水(H2O)用)。微少流量の計測制御に最適です。
測定流体ガス:Air、N2、O2、H2、He、Ar、CO(実ガス校正)、液体:標準流体(H2O)
低価格の小型高精度面積式流量計(フローメーター)です。
計測器メーカーが信頼度の高いものを自信をもって販売いたします。
リーク度も少なくppmレベルのガスにも対応可能です。
盤への埋め込みに適した突出の少ないパネル埋め込みタイプです。
もちろん単体での使用も可能です。
立幅120mm程度の小型かつシンプルな構造で設置が容易です。
バルブ(有・無)、フロートの材質(SUS316・POM)、継手(1/8”RC・1/4”RC)
の異なる様々なタイプをご用意しております。
用途パージエアー/窒素の通常の用途に加え、計測器への流量管理など精度が必要な
場合にもご使用頂けます。
質量(g)75
使用温度範囲(℃)-10~60
耐圧(MPa)1
精度(%)±3
測定流体空気・窒素
RoHS指令(10物質対応)対応
徹底した合理化に基づき設計された流量計で安価でありながら精度、再現性に優れております。
用途環境計測機器に
一般分析機器に
パージ装置用に
接続口径(Rc)1/8
精度±5%F.S.
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
独自の精密成型によるガラス管と超精密球のフロートにより、高い精度を保証します。
用途環境計測機器に。
一般分析機器に。
測定流体空気
接続部のサイズRc1/4
質量(g)377
目盛10:1(有効目盛)
精度±2%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)(最大流量5L/min以下)0.7、(最大流量10L/min以上)、0.5
質量流量計ですので、温度・圧力の影響を受けません。
アナログ出力機能をはじめ幅広いアプリケーションに対応します。
ACアダプター変換ハーネスとACアダプターを併用すれば、ACコンセントからの電源供給が可能です。
ホース継手により、Rc1/4ネジをΦ10.5mmのホース接続に変換できます。
空気(AIR)/窒素ガス(N2)用の小型軽量樹脂製流量計です。
適合流体空気(AIR)/窒素ガス(N2)
精度FS±6%
接続口径RC1/4
材質本体/ABS、テーパ管/アクリル、フロート/硬質ガラス、SUS316、継手/SUS303、シール材/フッ素ゴム
耐圧(MPa)0.7
最高使用温度(℃)65
目盛りが見やすく、扱い易いハンドルです。
OUT式流量計です。
多種ガス・広い範囲の流量・豊富なオプションを取り揃えております。
用途圧力調整器、配管取付用
材質(本体)真鍮
精度フルスケール±5%
接続口(入口)R1/4オネジ、(出口)Φ8ホース口(M12×1袋ナット)
熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕様(外部リークレート)1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
材質(接ガス部)SUS316、PTFE、フッ素ゴム
寸法(mm)127×25.5×100
バルブ形式N/Oノーマルオープン
電源+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
再現性±0.2%FS
耐圧(MPa)1(G)
接続1/4in.SWL相当
通信方式アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
入出力アナログ信号(0~5VDC)
流量精度±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
使用圧力範囲(kPa)50~300
応答性6sec
流量制御範囲5~100%FS
定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。
安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。
バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%FS
耐圧(kPa)980(G)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下(He 透過含まず)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。0.5sec以内の高速制御が可能です。流量制御値及び積算機能を搭載しています。消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。
適合流体N2/Air
材質(ボディ)樹脂(禁油なし)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。
DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。
ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。
センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。
別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
タイプマスフローコントローラ(MC)
バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%FS
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
制御電源が一体型でコンパクトです。流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。
付属品ACコード(2m)
寸法(mm)127×90×150
質量(kg)1.45
電源(V)AC100
出力電圧(V)0~5 DC(設定0.25~5 DC)
接続1/4in.SWL相当
表示形式(流量設定/出力)スケーリング表示
端子(背面)AC100Vおよび0~5VDC入出力電圧モニター
入出力アナログ信号(0~5VDC)
表示切替(設定/出力)トグルスイッチ
制御電源が一体型でコンパクトです。
流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。
入出力アナログ信号(0~5VDC)
質量(kg)1.45
電圧(V)【流量設定】DC0.25~5、【流量出力】DC0~5
フルスケール流量100SLM
電源(V)AC100
付属品ACコード(2m)
寸法(mm)127×90×150
接続1/4in.SWL相当(4-5430-01・01のみ3/8in.SWL相当)
仕様流量設定/出力表示:スケーリング表示設定/出力表示切替:トグルスイッチ背面端子:AC100Vおよび0~5VDC入出力電圧モニター
視認性、耐久性に優れたポリカーボネート製の浮子式流量計です。
取り付け時に表面の飛び出しが少なくなるようなデザインです。
流量調節バルブが付属しています。
測定対象空気
材質(本体)PC(ポリカーボネート)
使用温度範囲(℃)0~+60
接続口径(Rc)1/8
精度±5%
ガスの種類空気/窒素(N2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、アンモニア(NH3)、アセチレン(C2H2)
熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。
サイズ160×33.6×105mm
継手1/4in.SWL相当
再現性±0.2%FS
通信方式アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
入出力アナログ信号(0~5VDC)
流量制御範囲5~100%FS
流量精度±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
表面処理機械加工仕上げ
流体気体
バルブ形式N/O ノーマルオープン
応答性6sec
駆動源+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
使用周囲温度(℃)5~50 85%RH以下
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
本器は高精度フロート式流量計と、精密ニードルバルブを組合せ、微小流量の計測制御に最適の製品です
用途機器組込み用に
半導体関連ガス機器に
バイオ産業向けに
接続口径(Rc)1/4
精度±2%F.S.
寸法E(mm)29
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4~20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4~20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
質量(g)約1200
種類コントローラ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
通信方式RS485
表示器一体型:4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)5~45
関連資料カタログ(0.77MB)
動作差圧(kPa)50~300
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口:500
継手RC1/4
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
フルスケール流量500SCCM
流量制御範囲2~100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体CO2
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4~20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4~20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローメータ、ACアダプタ
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、FKM
質量(g)約1200
種類メータ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
通信方式RS485
表示器一体型:4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)5~45
関連資料カタログ(0.77MB)
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口:500
継手1/4SW
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
流量制御範囲2~100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測・制御による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体O2
関連資料カタログ(0.77MB)
1式
¥209,800
税込¥230,780
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