熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。
質量流量計ですので、温度・圧力の影響を受けません。
アナログ出力機能をはじめ幅広いアプリケーションに対応します。
ACアダプター変換ハーネスとACアダプターを併用すれば、ACコンセントからの電源供給が可能です。
ホース継手により、Rc1/4ネジをΦ10.5mmのホース接続に変換できます。
スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。0.5sec以内の高速制御が可能です。流量制御値及び積算機能を搭載しています。消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。
適合流体N2/Air
材質(ボディ)樹脂(禁油なし)
1個
¥95,500
税込¥105,050
17日以内出荷
小型マスフローメーターMF-F用のケーブルとなります。
仕様●長さ:3m
アズワン品番65-8767-66
1個
¥4,698
税込¥5,168
9日以内出荷
用途専用アダプタ(AC100V駆動用)
アズワン品番3-766-12
1個
¥9,998
税込¥10,998
当日出荷
超小型サイズで、大流量モデルまでラインナップしています。消費ガス、パージガスの流量管理に適しています。瞬時流量及び積算機能を搭載しています。
超小型サイズで、大流量モデルまでラインナップしています。消費ガス、パージガスの流量管理に適しています。瞬時流量及び積算機能を搭載しています。
仕様●本体材質:樹脂●適応ガス:Air・N2●精度:±3%F.S●アラーム出力:スイッチ出力(NPN)/2点、アナログ出力/1点●応答速度:50m/sec以下●表示・機能:瞬時流量表示・積算流量表示・ツイン表示(二色表示機能)●外部出力機能(アナログ出力/1点、スイッチ出力/2点)●出力:1-5V●流量レンジ:50LM●接続口径:Φ6ワンタッチ●電源電圧:DC12~24V(10.8~26.4V)
アズワン品番65-8767-48
1個
¥47,980
税込¥52,778
62日以内出荷
水素ガス(H2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体水素ガス(H2)
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5~45
最大圧力(kPa)入口:500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
・空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
表示器付ローコストマスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。専用AC電源アダプタPSK-3810DSⅡにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
材質(シール)FKM
使用圧力(MPa)0.0~0.5(G)
バルブの有無なし
耐圧(MPa)1.0(G)
接続RC1/4
センサー熱式センサー
所要電力DC24V±5% 100mA
温度係数FS±0.2%/℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)0~50
材質(ボディ)接ガス部:SUS303、PTFE
許容湿度(%)30~80(結露なきこと)
イベント出力NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA
金属製ブロック・ニードルバルブ付構造でありながらコンパクトでローコストな流量計です。
優れた流量調整性でなめらかな流量調整が可能です。
RoHS指令対応品です。
用途機器組み込み用に。
ガスパージ計測用に。
接続部のサイズRc1/8
質量(g)250
目盛10:1(有効目盛)
精度FS±10%
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)0.5
材質/仕上本体:真鍮 パッキン:ニトリルゴム(NBR)
RoHS指令(10物質対応)対応
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕様(外部リークレート)1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
材質(接ガス部)SUS316、PTFE、フッ素ゴム
寸法(mm)127×25.5×100
バルブ形式N/Oノーマルオープン
電源+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
再現性±0.2%FS
耐圧(MPa)1(G)
接続1/4in.SWL相当
通信方式アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
入出力アナログ信号(0~5VDC)
流量精度±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
使用圧力範囲(kPa)50~300
応答性6sec
流量制御範囲5~100%FS
1sec以下の高速応答。流量制御・モニタリングソフト。多種通信ほ方法に対応
用途マスフローコントローラは質量流量(Mass Flow)制御機器です。従来より、流体の流量計測・制御では「体積流量計」が用いられてきました。しかし、体積流量は温度・圧力の影響を受けるため、より精度良く流量計測・制御を行なう必要がある場合には、温度・圧力の影響を受けにくい「質量流量計(Mass Flow)」が用いられています。
通信方式(VDC)アナログ:0~5
作動圧力(kpa)(最大)400
電源電圧±15
使用温度範囲(℃)5~50
材質Oリング:FKM
バルブ種類NC
継手接続:1/4F900
RoHS指令(10物質対応)対応
定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。
安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。
バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%FS
耐圧(kPa)980(G)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下(He 透過含まず)
高速応答×低圧損×高精度、様々なガス種に対応(空気/窒素・酸素・アルゴン・炭酸ガス・都市ガス13A・メタン・プロパン・ブタン・etcの測定可能)、流量制御の課題を解決いたします。水平取付、ご使用には専用ハーネスが別途必要です。
短納期!。高速応答×低圧損×高精度×視認性。流量制御の課題を解決いたします。水平取付、垂直取付が可能。ご使用には専用ハーネスが別途必要です。
短納期!。高速応答×低圧損×高精度×視認性。流量制御の課題を解決いたします。水平取付、垂直取付が可能。ご使用には専用ハーネスが別途必要です。
マイクロリッターからの微少流量制御が可能です。冷却測定方式のため、低沸点液体材料の精密流体制御が可能です。高粘度液体材料の精密流体制御が可能です。
【付属】トレーサビリティー証明書+作業用計測器成績書~標準器校正成績書(和文)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
【付属】トレーサビリティー証明書+作業用計測器成績書~標準器校正成績書(和文)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
即納可能。デジタルマスフローコントローラーF4Q専用取付ブラケット
仕様●取付ブラケット(SUS304製)
アズワン品番65-5712-96
1個
¥2,298
税込¥2,528
8日以内出荷
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
【付属】トレーサビリティー証明書+作業用計測器成績書~標準器校正成績書(和文)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
【付属】トレーサビリティー証明書+作業用計測器成績書~標準器校正成績書(和文)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。
DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。
ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。
センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。
別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
タイプマスフローコントローラ(MC)
バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%FS
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