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エコ商品
真空用途の両端KFフランジ付きのフレキシブルホースになります。
用途真空機器の間をフレキシブルに曲げて接続するためのホースになります。
仕様【Heリークレート(Pa・m3/sec)】<1×10-9
材質(フレキ部)SUS316L
材質(フランジ)SUS316
RoHS指令(10物質対応)対応
真空配管用ISO-MFフランジ(穴あき)になります。
材質SUS304
寸法T(mm)12
寸法t(mm)5
RoHS指令(10物質対応)対応
真空配管用KFフランジ。センターリングを用いてシールします。
材質SUS304
RoHS指令(10物質対応)対応
真空用クランプ。ISO-KFフランジ同士を締め付ける製品。
材質アルミニウム
表面処理ニッケルメッキ加工
RoHS指令(10物質対応)対応
真空用センターリング。ISO-KFフランジ間に挟み、シールの役割を担うセンターリングになります。
形状センターリング
材質(インナーリング)SUS304
寸法C(mm)3.9
最高使用温度(℃)150
材質(Oリング)バイトン
両端ISO-KFフランジ付きでクランプ継手によって簡単に接続できる為、簡易的な真空配管の接続に便利です。
用途KFフランジ付き真空配管の誤差吸収用に使用できる。
仕様【Heリークレート(Pa・m3/sec)】<1×10-9
圧力(内側)真空、(外側)大気
温度(℃)＜250
板厚(mm)0.15
寿命10000回
材質(フランジ)SUS316
材質(ベローズ)SUS316L
RoHS指令(10物質対応)対応
真空配管用KFフランジの分岐変換継手になります。センターリングを用いてシールします。
材質SUS304
形状ティ
表面処理G.B.B.
RoHS指令(10物質対応)対応
真空配管用KFフランジのサイズ変換継手になります。センターリングを用いてシールします。
材質SUS304
長さ(mm)(製作長)40
表面処理G.B.B.
RoHS指令(10物質対応)対応
真空配管用KFブランクフランジ。センターリングを用いてシールします。
材質SUS304
RoHS指令(10物質対応)対応
真空配管用KFフランジとVCR(スウェージロック)継手との変換アダプターになります。
材質(フランジ)SUS304
材質(継手)SUS316
RoHS指令(10物質対応)対応
複合真空計タフゲージは、BA電離真空計とピラニ真空計を組み合わせた複合型の真空計です。
これ1本で大気から超高真空までの広範囲を自動的に切り替えながら計測します。
ピラニ真空計は温度計を内蔵して温度補正を行い、温度変化による誤差を低減します。
またピラニ真空計には耐腐食性の材料を使用、高真空ではBA電離真空計がグリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので、汚染環境でも感度低下が起きにくく、長期間、精度よく測定することができます。
用途真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製
材質ピラニ：Ni、ピラニ温度計：Pt100、BA フィラメント：Y-lr、グリッド：Pt-Mo、コレクタ：Pt-Mo
インターフェースRS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可
入力信号測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF
出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点
入力電源(V)DC24、0.8A
測定範囲1×10-8Pa～1.2×105Pa
RoHS指令(10物質対応)対応
仕様●圧力単位：Pa/Torr/mbar●タフモード：測定時グリッド及びコレクタ電極を通電加熱・OFF/約300℃/約500℃/約700℃に設定可●デガス：グリッド及びコレクタを約900℃にフラッシュ加熱●圧力信号出力：0～10V×1ch
タイプトランスミッタタイプ(LED 表示付)
真空配管用KFフランジとUJR(フジキン)継手との変換アダプターになります。
材質(フランジ)SUS304
材質(継手)SUS316
RoHS指令(10物質対応)対応
真空配管用のリークポートとKFフランジの変換継手になります。
材質SUS304
材質(Oリング)バイトン
RoHS指令(10物質対応)対応
両端ISO-MFフランジを接続する為のクロウクランプになります。
材質SUS304
適合フランジNW32-NW250
寸法A(mm)62.5
寸法B(mm)17.5-27
寸法C(mm)M10
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
￥1,998
税込￥2,198
63日以内出荷
真空配管用ISO-MFフランジによるR型エルボ製品になります。センターリングを用いてシールします。
材質(パイプ・フランジ)SUS304
形状R型エルボ
表面処理G.B.B.
RoHS指令(10物質対応)対応
真空配管用両端KFフランジのエルボ製品になります。センターリングを用いてシールします。
材質SUS304
形状エルボ
表面処理G.B.B.
RoHS指令(10物質対応)対応
真空配管用両端KFフランジのニップル製品になります。センターリングを用いてシールします。
形状ニップル
材質SUS304
表面処理G.B.B.
RoHS指令(10物質対応)対応
真空配管用KFブランクフランジ。センターリングを用いてシールします。
材質SUS316L
RoHS指令(10物質対応)対応
真空配管用JIS VGフランジ(穴あき)になります。
材質SUS304
RoHS指令(10物質対応)対応
真空用半月クランプ。ISO-KFフランジをネジで固定するための製品。(ボルト、ワッシャは付属していません)
付属品無し
材質アルミニウム
RoHS指令(10物質対応)対応
真空配管用KFフランジの分岐変換継手になります。センターリングを用いてシールします。
材質SUS304
形状クロス
表面処理G.B.B.
RoHS指令(10物質対応)対応
真空配管用KFフランジの分岐変換継手になります。センターリングを用いてシールします。
形状クロス
材質SUS304
表面処理G.B.B.
RoHS指令(10物質対応)対応
ISO-MFフランジとボルトフランジを締結する為のクロウクランプになります。
材質SUS304
真空配管用JIS VFフランジ(穴あき)になります。
材質SUS304
真空配管用のゲージシールポートとKFフランジの変換継手になります。
材質(Oリング)バイトン
材質(ボディ)SUS304
材質(ナット)(押さえナット)C3604/Niメッキ
RoHS指令(10物質対応)対応
真空配管用KFフランジの分岐変換継手になります。センターリングを用いてシールします。
材質SUS304
表面処理G.B.B.
RoHS指令(10物質対応)対応
両端に溶接用パイプエンドが取り付いた成形ベローズです。
真空配管との接合も行えて、設計の自由度が高まる。
用途真空配管の誤差吸収、振動吸収に使用できる。
仕様【Heリークレート(Pa・m3/sec)】<1×10-9
圧力(内側)真空、(外側)大気
温度(℃)＜250
板厚(mm)0.15
寿命10000回
材質(ベローズ)SUS316L
材質(パイプ)SUS316
RoHS指令(10物質対応)対応
コールドカソードタフゲージCCTG(Cold Cathode Tough Gauge)はカソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました。
また、カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました。
今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます。
用途真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製
インターフェースRS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可
入力信号測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF
出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点
入力電源(V)DC24、1A
測定範囲1×10-8Pa ～ 0.1Pa
電圧(V)3k～500(バイアス/最適制御)
RoHS指令(10物質対応)対応
仕様【圧力単位】Pa/Torr/mbar、【タフモード】測定時カソード電極を通電加熱(温度を3 段階に設定可)、【デガス】カソードを約700℃にフラッシュ加熱、【圧力信号出力】0～10V × 2ch
タイプトランスミッタタイプ(LED 表示付)
RoHS指令相当品
カドミレス材使用(75ppm以下)
材質C3771(鍛造用黄銅)
形状エルボ
使用温度範囲(℃)-50～150
最高使用圧力(MPa[kgf/cm2])6.9[70]
使用流体材質に悪影響が無い流体
RoHS指令(10物質対応)対応
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