・コンタミネーション管理されたステンレスレギュレータ。
流体に接する金属は全てSUS316を使用
・禁油。
油脂類を一切使用しない部品構成
・2種類のダイヤフラム材質:PTFE、フッ素ゴム。
最高使用圧力(MPa)1
保証耐圧力(MPa)1.5
周囲温度および使用流体温度(℃)0~60(ただし凍結なきこと)
空気圧機器をトラブルから守るために各種フィルタ、空気の清浄化と調圧による力のコントロールを実現。液晶、半導体関連プロセスでの各種溶剤、純水回路中のキャリアガス、クリーンエア、ガスの圧力制御など、ノングリス、ノンオイルを必要とするラインに最適。
設定圧力単位MPa
空気圧機器をトラブルから守るために各種フィルタ、空気の清浄化と調圧による力のコントロールを実現。液晶、半導体関連プロセスでの各種溶剤、純水回路中のキャリアガス、ブロー圧力、クリーンエア、ガスの圧力制御などを高精度(感度0.001MPa)に設定可能。
使用流体空気/N2/CO2/He/Ar
設定圧力範囲(MPa)0.01~0.25
設定圧力単位MPa
リリーフ機構を内蔵し、正確かつ安定した設定圧力を供給。
全長(mm)84
タイプリリーフ機構付
最高使用圧力(MPa)2.06
使用流体圧縮空気
設定圧力範囲(MPa)0.04~0.83
周囲温度および使用流体温度(℃)5~65
最大流量(L/min)500
ねじの種類Rc
保証耐圧力(MPa)3.09
圧力計圧力計なし
リリーフリリーフ機構付
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