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高真空度が必要とされる場合に採用される真空ポンプで、10-5Paが安価に得られます。熱せられた拡散オイルがノズルから噴射されることにより発生する超音速のジェット噴流によって、高真空域まで排気します。単独運転はできず、油回転真空ポンプをバックポンプとして、組合せて使用します。なお、組合せて排気セットとした製品は真空装置内の高真空排気装置をご覧ください。

シリコーンオイルは、一般的に無色透明の液体で、耐熱性、耐寒性、耐水性に優れています。 また、広い温度範囲にわたって粘度変化が少なく、電気特性にも優れています。 そのほか、離型性、撥水性、消泡性、潤滑性なども兼ね備えています。

中真空・高真空及び超高真空用の拡散ポンプオイルです。

拡散ポンプ用オイル

低粘度、低流動点で無色透明です。 蒸発潜熱が比較的小さく、作動電力量範囲が広いため、高真空が得られます。 分子量分布が狭く、排気速度が大きいため到達圧力までの作動所要時間が短くて済みます。 アルキルジフェニルエーテル系合成油のため、安定性に優れています。

シリコーンオイルは、一般的に無色透明の液体で、耐熱性、耐寒性、耐水性に優れています。 また、広い温度範囲にわたって粘度変化が少なく、電気特性にも優れています。 そのほか、離型性、撥水性、消泡性、潤滑性なども兼ね備えています。

コンパクトで移動が容易です。振動の少ない直結型油回転真空ポンプ(防振ゴム付き)を使用していますので、振動がほとんどありません。取り扱いや保守点検が容易で実験用に適しています。

小型軽量=持ち運びに便利なコンパクトタイプ。 低音低振動=精密工作仕上げのため極小です。 取扱い簡易=100 V 電源でどこでもすぐに使用可能。 ベルトレス=モータ直結のため装置への組込みが容易。

キャスター付で移動が簡単な油回転真空ポンプです。

真空排気ラインで発生する、油拡散ポンプ・ロータリーポンプからの油の逆拡散を防止し、長高真空ラインにおいては水分等の吸着により、到達圧力向上に効果を発揮します。接続はNWフランジで組合わせ自由。 内部フィンにより冷却効果UP。接ガス部の分解清掃可能。ターボ分子ポンプなどへの異物落下を防止。電源不要。

マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、世界中どこの電圧でも対応できます。 ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備し、CEマーキング自己宣言品、TUV、cTUVus認証取得品となります。

ロータリーポンプのオイル逆拡散を捕捉します。

宇宙船の潤滑油として開発されたオイルを原料とするポリフェニルエーテルです。 きわめて低い蒸気圧と卓越した熱安定性を持ち、他のオイルに比べて 表面湿潤の速度が遅く、"クリープ"の度合いが小さい傾向があります。 10-7 Pa未満の非常にクリーンな高真空および超高真空用途 (電子顕微鏡、質量分析、表面物理学など)で使用されています。 このような用途では、このオイルの優れた高真空性能とポンプ システムへの侵入傾向の低さが推奨理由となっています。 通常の運転温度において、化学的に安定し、耐食性があり、安全かつ無毒です。 オイル分解生成物(衝撃などに起因)は導電性を持つ傾向があります。 優れた潤滑品質を有し、真空システム機構の潤滑に使用できます。

直結型油回転真空ポンプ専用のオイルです。寒冷時にも始動性が良いように粘度が低くなっております。G、GVD、GLDシリーズでご使用ください。

DCブラシレスモータの採用で、負荷に応じた最適な回転速度で運転されることから、大気圧からの真空排気が可能です。 マグネットカップリングの構造により、ポンプ外部への油漏れなしです。 ポンプ内部のシールは、非接触シールを採用し、メカニカルロスを大幅に低減しました。 ドライバーボックス内部の電源切換で、100V系及び200V系で運転が可能です。

タスコ高性能真空ポンプオイルを使用すると真空ポンプの性能が向上します。 無臭のため作業環境に悪影響を与えません。 従来オイルと比較して約1.5倍の長寿命です。(作業条件によります。) 真空ポンプの音も静かになります。(約5dB、社内品と比較)

高度に精製した合成油(アルキルジフェニールエーテル)を高真空蒸留装置によって精密分溜した高真空用油拡散ポンプ油です。 高い真空度と優れた耐熱・耐酸化安定性があり、長期間にわたって安定してご使用頂けます。

真空排気ラインで発生するポンプからの油の逆拡散を防止し、超高真空ラインにおいては、水分等の吸着により到達圧力の向上に効果を発揮します。油拡散ポンプ排気装置、真空蒸着装置などに数多く採用されています。

接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。 ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能。 自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。 大気圧から作動が可能。シンプル構造で、メンテナンスが容易。