スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。0.5sec以内の高速制御が可能です。流量制御値及び積算機能を搭載しています。消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。
適合流体N2/Air
材質(ボディ)樹脂(禁油なし)
マイクロリッターからの微少流量制御が可能です。冷却測定方式のため、低沸点液体材料の精密流体制御が可能です。高粘度液体材料の精密流体制御が可能です。
用途低流量
形状ユニオンストレートタイプ
使用流体空気
使用圧力範囲0.1~0.9MPa
材質開放リング/POM、樹脂本体/PBT
色開放リング、樹脂本体/黒
使用温度範囲(℃)0~60
刻印AT、BT
材質(金属フード)/処理黄銅(無電解ニッケルメッキ)
逆止弁作動圧力(MPa)0.05
適合シリンダチューブ内径(Φmm)max.Φ16
表示設定器付マスフローコントローラです。
内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。
専用AC電源アダプタPSK-85により、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様シグナル/0-5V、通信/RS485、校正温度/20℃
流体N2
接続RC1/4
表示器一体型
水素ガス(H2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体水素ガス(H2)
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5~45
最大圧力(kPa)入口:500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
質量流量計ですので、温度・圧力の影響を受けません。
アナログ出力機能をはじめ幅広いアプリケーションに対応します。
ACアダプター変換ハーネスとACアダプターを併用すれば、ACコンセントからの電源供給が可能です。
ホース継手により、Rc1/4ネジをΦ10.5mmのホース接続に変換できます。
・ひとつのコントローラで4台分の流量管理が可能。
・異なる4つの流量レンジを1つのコントローラに接続可能。
形状フリータイプ
使用流体空気
使用圧力範囲(MPa)0.1~0.9
仕様低流量タイプ
材質開放リング/POM、樹脂本体/PBT
色開放リング、樹脂本体/黒
使用温度範囲(℃)0~60
刻印AT、BT
一次側圧力(MPa)0.5
材質(金属フード)/処理黄銅(無電解ニッケルメッキ)
逆止弁作動圧力(MPa)0.05
RoHS指令(10物質対応)対応
徹底した合理化に基づき設計された流量計で安価でありながら精度、再現性に優れております。
用途環境計測機器に
一般分析機器に
パージ装置用に
接続口径(Rc)1/8
精度±5%F.S.
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
仕様タイプ = 流量レギュレータインレットポートタイプ = ネジネジインレットポート = 1/8インチメスメーカーシリーズ = QSC
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥4,098
税込¥4,508
5日以内出荷
・1台で流量を自動調整。・乾燥空気, N2, Ar, CO2。・カラー表示・2画面表示対応。 瞬時流量、流量指令値、積算流量などを一目で確認。・IO-Linkに対応。・レンジアビリティ 100:1。・1台で幅広い流量の制御が可能
使用流体乾燥空気、N2、Ar、CO2
RoHS指令(10物質対応)対応
取扱説明書(2.09MB)
熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。
1個
¥95,500
税込¥105,050
17日以内出荷
熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕様(外部リークレート)1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
材質(接ガス部)SUS316、PTFE、フッ素ゴム
寸法(mm)127×25.5×100
バルブ形式N/Oノーマルオープン
電源+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
再現性±0.2%FS
耐圧(MPa)1(G)
接続1/4in.SWL相当
通信方式アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
入出力アナログ信号(0~5VDC)
流量精度±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
使用圧力範囲(kPa)50~300
応答性6sec
流量制御範囲5~100%FS
1sec以下の高速応答。流量制御・モニタリングソフト。多種通信ほ方法に対応
用途マスフローコントローラは質量流量(Mass Flow)制御機器です。従来より、流体の流量計測・制御では「体積流量計」が用いられてきました。しかし、体積流量は温度・圧力の影響を受けるため、より精度良く流量計測・制御を行なう必要がある場合には、温度・圧力の影響を受けにくい「質量流量計(Mass Flow)」が用いられています。
通信方式(VDC)アナログ:0~5
作動圧力(kpa)(最大)400
電源電圧±15
使用温度範囲(℃)5~50
材質Oリング:FKM
バルブ種類NC
継手接続:1/4F900
RoHS指令(10物質対応)対応
定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。
安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。
バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%FS
耐圧(kPa)980(G)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下(He 透過含まず)
即納可能。デジタルマスフローコントローラーF4Q専用取付ブラケット
仕様●取付ブラケット(SUS304製)
アズワン品番65-5712-96
1個
¥2,298
税込¥2,528
8日以内出荷
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(1.65MB)
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。
DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。
ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。
センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。
別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
タイプマスフローコントローラ(MC)
バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%FS
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
制御電源が一体型でコンパクトです。流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。
付属品ACコード(2m)
寸法(mm)127×90×150
質量(kg)1.45
電源(V)AC100
出力電圧(V)0~5 DC(設定0.25~5 DC)
接続1/4in.SWL相当
表示形式(流量設定/出力)スケーリング表示
端子(背面)AC100Vおよび0~5VDC入出力電圧モニター
入出力アナログ信号(0~5VDC)
表示切替(設定/出力)トグルスイッチ
制御電源が一体型でコンパクトです。
流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。
入出力アナログ信号(0~5VDC)
質量(kg)1.45
電圧(V)【流量設定】DC0.25~5、【流量出力】DC0~5
フルスケール流量100SLM
電源(V)AC100
付属品ACコード(2m)
寸法(mm)127×90×150
接続1/4in.SWL相当(4-5430-01・01のみ3/8in.SWL相当)
仕様流量設定/出力表示:スケーリング表示設定/出力表示切替:トグルスイッチ背面端子:AC100Vおよび0~5VDC入出力電圧モニター
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
高速応答×低圧損×高精度、様々なガス種に対応(空気/窒素・酸素・アルゴン・炭酸ガス・都市ガス13A・メタン・プロパン・ブタン・etcの測定可能)、流量制御の課題を解決いたします。水平取付、ご使用には専用ハーネスが別途必要です。
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(1.79MB)
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