設備機器の空気圧の圧力測定が可能
小型・軽量サイズ、ケース一体型の携帯に便利なスタイル
測定値を固定するデータホールド機能付
最大値/最小値/平均値表示機能付
切り忘れによる電池消耗を防ぐオートパワーオフ機能付(解除可)
暗所での作業時に便利なバックライト機能付
用途差圧計測に
測定流体圧縮空気
付属品取扱説明書、ストラップ、保護カバー
トラスコ品番449-2323
質量(g)約119(保護カバー装着時、電池含む)
種類汎用圧力計
精度±3.0hPa
寸法(幅W×高さH×奥行D)(mm)50.9×132.9×24.7
分解能0.1hPa
使用電池単4(1.5V)電池2個
サンプリング2回/秒
使用温湿度範囲0~+50℃、70%RH以下(但し、結露のないこと)
電池寿命(連続時間)約600(アルカリ乾電池使用時)
保存温湿度範囲-20~+60℃、80%RH以下(但し、結露のないこと)
RoHS指令(10物質対応)対応
圧力レンジ(Pa)300~1200
コールドカソードタフゲージCCTG(Cold Cathode Tough Gauge)はカソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました。
また、カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました。
今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます。
用途真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製
インターフェースRS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可
入力信号測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF
出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点
入力電源(V)DC24、1A
測定範囲1×10-8Pa ~ 0.1Pa
電圧(V)3k~500(バイアス/最適制御)
RoHS指令(10物質対応)対応
仕様【圧力単位】Pa/Torr/mbar、【タフモード】測定時カソード電極を通電加熱(温度を3 段階に設定可)、【デガス】カソードを約700℃にフラッシュ加熱、【圧力信号出力】0~10V × 2ch
タイプトランスミッタタイプ(LED 表示付)
複合真空計タフゲージは、BA電離真空計とピラニ真空計を組み合わせた複合型の真空計です。
これ1本で大気から超高真空までの広範囲を自動的に切り替えながら計測します。
ピラニ真空計は温度計を内蔵して温度補正を行い、温度変化による誤差を低減します。
またピラニ真空計には耐腐食性の材料を使用、高真空ではBA電離真空計がグリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので、汚染環境でも感度低下が起きにくく、長期間、精度よく測定することができます。
用途真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製
材質ピラニ:Ni、ピラニ温度計:Pt100、BA フィラメント:Y-lr、グリッド:Pt-Mo、コレクタ:Pt-Mo
インターフェースRS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可
入力信号測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF
出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点
入力電源(V)DC24、0.8A
測定範囲1×10-8Pa~1.2×105Pa
RoHS指令(10物質対応)対応
仕様●圧力単位:Pa/Torr/mbar●タフモード:測定時グリッド及びコレクタ電極を通電加熱・OFF/約300℃/約500℃/約700℃に設定可●デガス:グリッド及びコレクタを約900℃にフラッシュ加熱●圧力信号出力:0~10V×1ch
タイプトランスミッタタイプ(LED 表示付)
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