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電極間抵抗検知方式 交流検出方式 洗浄装置内の結露や周辺への液漏れを検出 ドレインパンへの液漏れを検出し、装置の破損やウエハの洗浄不良を防止 洗浄槽内の純水のレベルを検出。 高感度による精度の高いレベル制御で洗浄不良を防止。