衝撃に強く割れません。
遠心加速度20000G(13000rpm)に耐える強度です。
凍結に強くディープフリーザー(-80℃)にも耐えます。
廃棄処理で減容します。
焼却時、燃焼エネルギーが5500cal/kgと低い。腐食性ガスや有毒ガスは発生しません。
ガラスに近い透明度と、PS(ポリスチレン)にない耐衝撃性・強度を持っています。
優れたガスバリア性を有しています。
耐熱温度(℃)-80~+70(ディープフリーズ可)
長寿命:300万回(常温時)
発塵量:1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用
適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応
開口窓寸法(mm)50X336
軸数とシール形式1軸ベローズ
定格絶縁電圧(V)250
種類アナンシェータリレー
質量(g)約106
取付方式プラグイン
使用温度範囲(℃)-10~40(氷結、結露なきこと)
電圧許容変動定格電圧の85~110%
絶縁抵抗(MΩ)DC500Vメガにて100以上
耐振動(耐久)10~55Hz、複振幅1mm
機械的耐久性5000万回以上
最小適合負荷DC5V、1mA
許容相対湿度(%)95以下
動作時間(ms)20以下(ただし、ADA1PEは25ms)以下
定格通電電流(A)3
復帰時間(ms)25以下
耐電圧(V/min)入力-出力間:AC2000、独立充電部相互間:AC1000
耐衝撃(耐久)(m/s2)500
周波数許容範囲(%)95~105
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