VCR 超精密X・Y軸ステージ 125×150
移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、超精密ステージです。
操作部取付位置はセンター、サイドがあります。
ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。
種類xyステージテーブル長さ(mm)125テーブル幅(mm)150耐荷重(N)245送り方式MHH1-50T(標準マイクロ)移動ガイドV溝とクロスローラ質量(kg)9.8感度0.003mmクランプ板クランプ平行度(mm)0.06目量マイクロメータ式0.01mm材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロムRoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度0.003mmヨーイング・ピッチング15secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.02、ピッチ剛性 .0.02、ロール剛性 0.01移動量(ツマミ1回転)0.5mm内容量1台
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