XY直交度(mm)0.02ストローク(X距離)(mm)±25ストローク(Y距離)(mm)±25種類xyステージテーブル長さ(mm)125テーブル幅(mm)150耐荷重(N)245送り方式MHH1-50T(標準マイクロ)移動ガイドV溝とクロスローラ操作位置センター質量(kg)9.8感度0.003mmクランプ板クランプ平行度(mm)0.06目量マイクロメータ式0.01mm材質/処理(テーブル)鋼材/硬質黒色クロムRoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度0.003mmヨーイング・ピッチング15secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.02、ピッチ剛性 .0.02、ロール剛性 0.01移動量(ツマミ1回転)0.5mm
