ハイグレードZステージ 70×70(対称型)
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類Zステージテーブル長さ(mm)70テーブル幅(mm)70耐荷重(N)49移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム、(Zブラケット)アルミ合金/黒アルマイト梨地移動方向Z軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.04、ピッチ剛性 0.04、ロール剛性 0.02許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1500、ピッチ：1500、ロール：1500垂直度(mm)0.065、運動の垂直度：0.025
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