Z軸ステージ
VCR方式のガイドを多く組み合わせ剛性をアップした昇降型の超精密Z軸ステージです。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地移動方向Z軸1方向質量(kg)0.5種類Zステージ感度0.003mmクランプ板クランプ平行度(mm)0.08目量マイクロメータ式0.01mm耐荷重(N)49RoHS指令(10物質対応)対応送り方式CMH-15F(標準マイクロメータ)移動ガイドV溝とクロスローラ移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003テーブル幅(mm)60テーブル長さ(mm)60ストローク(Z距離)(mm)0～10移動量(ツマミ1回転)0.5mm内容量1個
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