気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。
フィラメント材に白金(Pt)を使用しており大気圧でも壊れません。
手軽に低真空領域の圧力を測定できる用途の広い真空計です。
- 用途
- 真空粗引系の圧力測定
真空排気系の圧力モニタ
真空応用機器のインターロック、シーケンス制御などの制御系に
真空応用機器のプロセス制御
- 仕様
- ●セットポイント:無し●測定箇所:1
- 付属品
- 電源ケーブル:3m(コントロール一体)、クイックマニュアル:1部
- 質量(kg)
- メーター:0.7、検出ユニット(GP-H):0.035
- 材質(本体)
- 測定子フィラメント・白金(Pt)
- 種類
- 真空計
- 使用温度範囲(℃)
- 10~40
- 外形寸法(mm)
- 100×130×100(W×D×H)
- 電圧(V)
- AC100~240
- 出力
- 測定値出力:DC0~10mV 非線形
- 表示
- アナログ
- 電源電圧(V)
- AC100~240
- 使用湿度範囲
- 15~80%(ただし結露なきこと)
- 測定範囲(Pa)
- 0.4~2700
- 測定精度(%)
- 直線目盛換算フルスケール100%の±3以内
- 電源(VA)
- 10
- 設定圧力単位
- Pa
- 湿度範囲(%)
- 15~80(ただし、結露なきこと)
- 内容量
- 1個