マスフローコントローラー
熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕様(外部リークレート)1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
材質(接ガス部)SUS316、PTFE、フッ素ゴム
寸法(mm)127×25.5×100
バルブ形式N/Oノーマルオープン
電源+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
再現性±0.2%FS
耐圧(MPa)1(G)
接続1/4in.SWL相当
通信方式アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
入出力アナログ信号(0～5VDC)
流量精度±2%FS(精度保証範囲15～35℃)
使用圧力範囲(kPa)50～300
応答性6sec
流量制御範囲5～100%FS
内容量1個
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