半導体・MEMSのための超臨界流体
気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について、特長と、乾燥、薄膜堆積、洗浄など、半導体・MEMSのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説。超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。
ジャンル
電子
通信
分類専門
判型A5
ページ数227
著者名近藤英一 上野和良 内田寛
初版年月2012/09
内容量1冊
通信
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よくあるご質問(FAQ)
- 質問：
- 製品の安全データシート（SDS）や有害物質使用制限に関するデータ（RoHS）等の書面が必要ですがどうすれば良いですか。
- 回答：
- お手数ですが下記URLのお問合せフォームよりご依頼ください。
お問合せ種類 *必須の中から必要な書類をお選びご依頼ください。
https://help.monotaro.com/app/ask
書類名）
1：SDS(MSDS)
2：RoHS(2)
3：非該当証明書
4：ChemSHERPA
5：その他（ミルシート・出荷証明書）
2022-04-07
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