本書は、シリコン集積回路のその後の驚異的な発展及びこの技術を基盤とする各種電子デバイスの将来の展開を考慮し、初版の「ULSIデバイス・プロセス技術」を全面的に改定した。ULSIに関わる技術者・研究者の必携書。