はじめての半導体ドライエッチング技術 改訂版
1章 半導体集積回路の発展とドライエッチング技術；2章 ドライエッチングのメカニズム；3章 各種材料のエッチング；4章 ドライエッチング装置；5章 ドライエッチングダメージ；6章 新しいエッチング技術；7章 アトミックレイヤーエッチング(ALE)；8章 ドライエッチング技術の今後の課題と展望
- ジャンル
- 電子
通信
- 分類
- 専門
- 判型
- A5
- ページ数
- 188
- 著者名
- 野尻一男
- 初版年月
- 2020/11/01
- 内容量
- 1冊
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よくあるご質問(FAQ)
- 質問：
- 製品の安全データシート（SDS）や有害物質使用制限に関するデータ（RoHS）等の書面が必要ですがどうすれば良いですか。
- 回答：
- お手数ですが下記URLのお問合せフォームよりご依頼ください。
お問合せ種類 *必須の中から必要な書類をお選びご依頼ください。
https://help.monotaro.com/app/ask
書類名）
1：SDS(MSDS)
2：RoHS(2)
3：非該当証明書
4：ChemSHERPA
5：その他（ミルシート・出荷証明書）
2022-04-07
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