マイクロスキャニングステージ

FA用途を強く意識した、高速、急停止、短時間整定が可能なXY自動ステージです。高速移動、急停止の繰り返しをした場合に、約60msで整定するため、例えば150mm×150mm内のワークパターン約1万箇所の全数検査範囲を約17分で走査可能です。繰り返し精度±0.002mmのため、高倍率顕微鏡視野内(約Φ0.1mm)の位置再現性も十分にあります。メーカー製の超高速追従型オートフォーカス顕微鏡システムと組み合わせることで、外観検査などに最高のパフォーマンスを発揮します。