マイクロスキャニングステージ
FA用途を強く意識した、高速、急停止、短時間整定が可能なXY自動ステージです。高速移動、急停止の繰り返しをした場合に、約60msで整定するため、例えば150mm×150mm内のワークパターン約1万箇所の全数検査範囲を約17分で走査可能です。繰り返し精度±0.002mmのため、高倍率顕微鏡視野内(約Φ0.1mm)の位置再現性も十分にあります。メーカー製の超高速追従型オートフォーカス顕微鏡システムと組み合わせることで、外観検査などに最高のパフォーマンスを発揮します。
耐荷重(N)49(5kg)移動ガイドV溝とクロスローラ幅(mm)200奥行(mm)280高さ(mm)200付属品フラットベース、検査合格証、六角穴付きボルト(本体固定用)M6 4本、六角穴付きボルト(フラットベース固定用)M6 4本、ACケーブル、センサケーブル、モータケーブル、QT-Aコントローラ接続用ケーブル材質アルミ合金移動方向XY軸2方向使用モータαステップモータ ARM46AC相当品分解能(mm)0.002送りねじリード(mm)2繰返し精度(mm)±0.002ロストモーション(mm)0.003最高速度(mm/s)100表面処理黒アルマイト梨地原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサセンサーリミット：ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ型番ドライバ：QT-ARD2入力電源AC100～115V 50/60Hz 最大6.0A軸数駆動：2軸駆動方式2相ステッピングバイポーラ方式電流(A)駆動：0.49/相分解能切換：0.002mm(初期値)、(内部スイッチにより0.004mm、0.0004mm、0.0002mm切換可)入力信号駆動パルス パルス方式→2パルス方式(初期値)、(内部スイッチにより1パルス方式切換可)、最大パルス周波数→250KHz(50%デューティー時)、パルス電圧→+5V、対応信号形態→オープンコレクタ、ラインドライバ適合ステージ：MSS-H200A、またはMSS-H300A専用コントローラ推奨：QT-AMH2、QT-ADM2内容量1台
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