1 ライトリングによる圧力表示
新開発のライトリングにより、 セントラルインターフェイスから離れまた場所でシステムの圧力を確認可能です。
2 コンパクトサイズ
APG100シリーズと比べ、 性能を損なうことなく25% 小型化しています。
3 長くなったフィラメント
独自設計によりフィラメント長の最大化に成功し、 感度の強化によって測定範囲の上限と下限の反応性も
向上しました。
4 内蔵フィルター
内蔵フィルターが測定セルを損傷させる粒子を除去するので、設置すればほぼ保守の必要はありません。
5 幅広い電源に対応
15~48Vの幅広い入力電源は業界最大で、電源を気にすることなくゲージを使用することができます。
6 取り付けが簡単
お客様が一番したくないのがソフトウェアの変更や時間のかかる適格性確認です。 そのため、 Edwardsでは最も一般的な出力に対応したモデルを取り揃えました。これにより、 アップグレードがさらに簡単になっています。
7 デジタル/アナログ
Edwardsのデジタルゲージとアナログゲージは設置面積が同じです。 データ収集/制御の必要性が増した場合、あとから簡単にアップグレードすることができます。
8 セットポイントリレー
Edwardsのゲージとしては初めて専用セットポイントリレーを装備しているので、幅広い連鎖アクションを起動することができます。
用途分析機器
真空で実現できる限界に挑戦しつつ、プロセスを完全に最適化し再現可能にすることが、常に最高を目指す上で重要です。
半導体
使用環境が過酷なことで知られていますが、このような環境でもファブが24時間無休で稼働することが極めて重要です。 そのため、すべての部品を厳しく監視することによって稼働時間の大幅な向上を実現します。
医薬
医薬および医薬関連のすべてのプロセスは、プロセスステップごとに異なった真空度を用いています。 プロセスステップで正確かつ信頼性の高い測定を行うことが一貫した出力を得るのに重要です。
精度大気圧~100hPa ±50%
100hPa~1×103hPa ±15%
1×103hPa~5×10-4hPa ±50%
仕様セットポイント:0、1、2 (モデルによる)、過圧限界:10bar、デッドボリューム:3.3cm3、保守チューブと電子機器の交換材質真空接触部:タングステン/レニウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、 ステンレス鋼302S26寸法(mm)63×37×37 (対辺寸法)質量(g)130フランジNW16/25、DV16CF、 1/8" NPT、 4VCR、 8VCR、 ベアチューブ規格CE、UKCA出力シリアル:RS232またはRS485ケーブル長(m)100温度(℃)最高ベークアウト(電子機器非接触):150寸法A(mm)37寸法B(mm)52寸法C(mm)11範囲1.8~9.2Vアナログ出力0~10再現性(%)100~1×103hPaの間で読み値の2保護等級40インターフェースワンプッシュ式測定範囲(hPa)大気圧~5×104(大気圧~3.75×10-4torr)保護機能内蔵フィルターコネクタ電気:RJ45/9ピンD-sub保管温度(℃)-30~70RoHS指令(10物質対応)対応インジケータステータス:360°高輝度LEDリング動作温度範囲(℃)5~60°供給電圧(V)直流15~48相対湿度(%RH)31℃まで80%、40℃以上では50まで線形に減少対応ソフトウェアLabviewドライバー接点定格直流48V (最大) 500mAコントローラ互換性:TIC/ADC/TAG内容量1個