水晶板 UCRシリーズ
熱による影響は小さく、周波数安定性は高い。
成膜中の温度特性に優れる
レート安定性が良いので、より長い時間使用可能
シャッタ開閉時のふらつきや変化(熱衝撃の変化)が小さい
水晶板の入替作業時間を大幅に短縮
CRTMシリーズでの基本性能は確認済み
- 仕様
- ●発振周波数：6MHz●電極材質：Au(金)●電極表面：標準仕上げ●外径寸法：Φ14●対応成膜コントローラ：CRTMシリーズ全般●用途：メタル膜、光学膜●塔載可能センサ：CRTSシリーズ(シングルセンサ、マルチセンサ)全て●入数：12枚1組
- アズワン品番
- 67-6870-71
- 内容量
- 1組(12枚)
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