高真空対応、低アウトガスタッチスイッチ[GNシリーズ]

高真空対応、低アウトガスタッチスイッチ[GNシリーズ]は、真空環境で問題となるアウトガスを極力排出しない優れた性能を誇ります。
GNシリーズは、アウトガスの発生がない部品を使用し、10-5Paの高真空環境まで対応可能です。
クリーンルームで製造を行い、コンタミネーション対策を徹底しているため、半導体製造ラインなどでも多く採用されています。
アウトガスの少ない材質と接着剤を使用し、高真空環境専用の位置決めスイッチとして最適です。
高真空度クラス 10-5Pa 対応
低アウトガス対応の材質・接着剤・コード使用

用途: アウトガス対策された材料で構成され、120℃までの温度に耐えることが可能です。
また、構成上、油やグリースなどは使用していません。
あらゆる生産設備や工作機械、ロボットの高精度な位置決めやワークや治具の有無検出などにご利用いただけます。
マイクロスイッチやリミットスイッチの置き換えとして採用実績多数
半導体製造装置
半導体ウェハーの有無検出(真空チャンバー内)
ガラス基板の位置決め(真空成膜装置、太陽光発電(PV)真空装置)
ガラス基板のアライメントやマスクのトレイ着座検出、キャリアの原点出し(FPD向け真空成膜装置)
人工衛星など航空宇宙関連設備でも採用実績

仕様: 当て方：直進
ストローク(mm): 1.5(全体の動き)
タイプ: 外形：ネジ径
使用温度範囲(℃): 0～120(氷結ないこと)
ケーブル長(m): 0.5
ねじ寸法: M5×0.5
材質(ケース): SUS304
寿命: 接点精度：300万回
ケーブル: PTFEバラ線、AWG30相当
繰返し精度(μm): 3
LED: LED無し
振動: 10～55Hz/複振幅1.5/X、Y、Z各方向
接触力: 0.5N
外径(mm): 5
コンタクト形状: 端面・SR2
RoHS指令(10物質対応): 対応
軸受種類: メタル軸受け
IP等級: IP40
ケーブル形状: ストレート
ケーブルタイプ: バラ線
接点定格: DC5V～DC24V 定常電流10mA以下(突入電流 20mA以下) LED付の場合、LEDに10mA以上の電流が流れないよう電流制限が必要です。
内容量: 1個