- 用途
- アウトガス対策された材料で構成され、120℃までの温度に耐えることが可能です。
また、構成上、油やグリースなどは使用していません。
あらゆる生産設備や工作機械、ロボットの高精度な位置決めやワークや治具の有無検出などにご利用いただけます。
マイクロスイッチやリミットスイッチの置き換えとして採用実績多数
半導体製造装置
半導体ウェハーの有無検出(真空チャンバー内)
ガラス基板の位置決め(真空成膜装置、太陽光発電(PV)真空装置)
ガラス基板のアライメントやマスクのトレイ着座検出、キャリアの原点出し(FPD向け真空成膜装置)
人工衛星など航空宇宙関連設備でも採用実績
- 仕様
- 当て方：直進
- ストローク(mm)
- 1.5(全体の動き)
- 全長(mm)
- 21.5
- タイプ
- 外形：ネジ径
- 使用温度範囲(℃)
- 0～120(氷結ないこと)
- ケーブル長(m)
- 0.5
- ねじ寸法
- M5×0.5
- 材質(ケース)
- SUS304
- 寿命
- 接点精度：300万回
- ケーブル
- PTFEバラ線、AWG30相当
- 繰返し精度(μm)
- 3
- LED
- LED無し
- 振動
- 10～55Hz/複振幅1.5/X、Y、Z各方向
- 材質(コンタクト)
- PEEK
- 接触力
- 0.5N
- 外径(mm)
- 5
- コンタクト形状
- 端面・SR2
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 軸受種類
- メタル軸受け
- 動作形態
- A:NO
- IP等級
- IP40
- ケーブル形状
- ストレート
- ケーブルタイプ
- バラ線
- 接点定格
- DC5V～DC24V 定常電流10mA以下(突入電流 20mA以下) LED付の場合、LEDに10mA以上の電流が流れないよう電流制限が必要です。
