自動グローブタイプ3方メタルダイヤフラムバルブ
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
用途半導体製造装置の超高純度ガスおよび可燃性、毒性ガスライン用材質(本体)SUS316L寸法L(mm)70.6寸法H(mm)53呼び径(B)6.35温度(℃)-10～150最高使用圧力(MPa)1接続方式UJR継手呼び径(A)6.35RoHS指令(10物質対応)対応呼び径(C)6.35内容量1個
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