薄型・精密・大型XYステージ マイクロヘッド駆動 IXYシリーズ
駆動部にクロスローラウェイを用いた、精密薄型XYステージです。
高耐荷重(20kg)タイプです。
仕様●マイクロメータ最少読み取り：0.01mm/0.005mm(オプション)●駆動分解能：0.01mm材質プレート/アルミ(黒アルマイト)、駆動部/鉄、ステンレス等ストローク(mm)マイクロメータ：±6.5高さ(mm)ステージ面：34耐荷重(kg)20f移動量(mm)1回転当たり：0.5内容量1個
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