薄型・精密・大型XYステージ マイクロヘッド駆動 IXYシリーズ
駆動部にクロスローラウェイを用いた、精密薄型XYステージです。
高耐荷重(20kg)タイプです。
仕様●マイクロメータ最少読み取り:0.01mm/0.005mm(オプション)●駆動分解能:0.01mm
材質プレート/アルミ(黒アルマイト)、駆動部/鉄、ステンレス等
ストローク(mm)マイクロメータ:±6.5
高さ(mm)ステージ面:34
耐荷重(kg)20f
移動量(mm)1回転当たり:0.5
内容量1個
駆動部にクロスローラウェイを用いた、精密薄型XYステージです。
高耐荷重(20kg)タイプです。