薄型・精密・大型XYステージ マイクロヘッド駆動 IXYシリーズ
駆動部にクロスローラウェイを用いた、精密薄型XYステージです。
高耐荷重(20kg)タイプです。
- 仕様
- ●マイクロメータ最少読み取り：0.01mm/0.005mm(オプション)●駆動分解能：0.01mm
- 材質
- プレート/アルミ(黒アルマイト)、駆動部/鉄、ステンレス等
- ストローク(mm)
- マイクロメータ：±6.5
- 高さ(mm)
- ステージ面：34
- 耐荷重(kg)
- 20f
- 移動量(mm)
- 1回転当たり：0.5
- 内容量
- 1個
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