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マスフローコントローラのおすすめ人気ランキング
2025/06/04更新228件の「マスフローコントローラ」商品から売れ筋のおすすめ商品をピックアップしています。当日出荷可能商品も多数。「流量コントローラ」、「マスフロー」、「ガス 混合器」などの商品も取り扱っております。
熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕様
(外部リークレート)1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
材質
(接ガス部)SUS316、PTFE、フッ素ゴム
寸法(mm)
127×25.5×100
バルブ形式
N/Oノーマルオープン
電源
+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
再現性
±0.2%FS
耐圧(MPa)
1(G)
接続
1/4in.SWL相当
通信方式
アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
入出力
アナログ信号(0~5VDC)
流量精度
±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
使用圧力範囲(kPa)
50~300
応答性
6sec
流量制御範囲
5~100%FS
熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。
スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。0.5sec以内の高速制御が可能です。流量制御値及び積算機能を搭載しています。消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。
適合流体
N2/Air
材質(ボディ)
樹脂(禁油なし)
質量流量計ですので、温度・圧力の影響を受けません。
アナログ出力機能をはじめ幅広いアプリケーションに対応します。
ACアダプター変換ハーネスとACアダプターを併用すれば、ACコンセントからの電源供給が可能です。
ホース継手により、Rc1/4ネジをΦ10.5mmのホース接続に変換できます。
窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体
窒素ガス(N2)
仕様
●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容
スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m
材質
接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源
15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ
熱式巻線センサ
再現性
±0.5%F.S.
耐圧(MPa)
1
保存温度(℃)
-10~60
周囲湿度(%RH)
10~90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)
5~45
最大圧力(kPa)
入口:500
バルブ種類
比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続
D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)
1×10-8以下
小型マスフローメーターMF-F用のケーブルとなります。
仕様
●長さ:3m
アズワン品番
65-8767-66
1個
¥4,698
税込¥5,168
42日以内出荷
制御電源が一体型でコンパクトです。流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。
付属品
ACコード(2m)
寸法(mm)
127×90×150
質量(kg)
1.45
電源(V)
AC100
出力電圧(V)
0~5 DC(設定0.25~5 DC)
接続
1/4in.SWL相当
表示形式
(流量設定/出力)スケーリング表示
端子
(背面)AC100Vおよび0~5VDC入出力電圧モニター
入出力
アナログ信号(0~5VDC)
表示切替
(設定/出力)トグルスイッチ
ガスの種類
空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG:46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料
寸法、仕様情報(1.65MB)
表示設定器付マスフローコントローラです。
内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。
専用AC電源アダプタPSK-85により、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様
シグナル/0-5V、通信/RS485、校正温度/20℃
流体
N2
接続
RC1/4
表示器
一体型
表示器付ローコストマスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。専用AC電源アダプタPSK-3810DSⅡにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
材質(シール)
FKM
使用圧力(MPa)
0.0~0.5(G)
バルブの有無
なし
耐圧(MPa)
1.0(G)
接続
RC1/4
センサー
熱式センサー
所要電力
DC24V±5% 100mA
温度係数
FS±0.2%/℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)
0~50
材質(ボディ)
接ガス部:SUS303、PTFE
許容湿度(%)
30~80(結露なきこと)
イベント出力
NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA
空気(AIR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体
空気(AIR)
熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。
サイズ
160×33.6×105mm
継手
1/4in.SWL相当
再現性
±0.2%FS
通信方式
アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
入出力
アナログ信号(0~5VDC)
流量制御範囲
5~100%FS
流量精度
±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
表面処理
機械加工仕上げ
流体
気体
バルブ形式
N/O ノーマルオープン
応答性
6sec
駆動源
+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
使用周囲温度(℃)
5~50 85%RH以下
金属製ブロック・ニードルバルブ付構造でありながらコンパクトでローコストな流量計です。
優れた流量調整性でなめらかな流量調整が可能です。
RoHS指令対応品です。
用途機器組み込み用に。
ガスパージ計測用に。
接続部のサイズ
Rc1/8
質量(g)
250
目盛
10:1(有効目盛)
精度
FS±10%
耐熱温度(℃)
60
保証耐圧力(MPa)
0.5
材質/仕上
本体:真鍮 パッキン:ニトリルゴム(NBR)
RoHS指令(10物質対応)
対応
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。
DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。
ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。
センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。
別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
タイプ
マスフローコントローラ(MC)
バルブ形式
比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ
熱式巻線センサ
再現性
±0.5%FS
流量監視に抜群の使いやすさで、双方向計測も可能です。
用途設備や塗装エアの消費流量管理。
周波数(Hz)
50/60
適合規格
安全規格・CEマーキング対応、EMC指令対応、FCC対応、環境対応:RoHS指令適合
外形寸法(幅W×高さH×奥行D)(mm)
48×96×170(突起部除く)
機能
流量アラーム出力機能(外部出力:オープンコレクタ)、外部制御機能(流量設定信号入力、流量制御バルブ制御信号入力:全開・全閉)、流量表示機能(SEC・OUT共に表示可能)
電源(AC V)
100~240
電源(VA)
30MAX
アズワン品番
2-752-21
モデル
デジタル/アナログ通信
1個
¥89,980
税込¥98,978
当日出荷
定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。
安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。
バルブ形式
比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ
熱式巻線センサ
再現性
±0.5%FS
耐圧(kPa)
980(G)
リークレート(Pa・m3/sec)
1×10-8以下(He 透過含まず)
1個
¥95,500
税込¥105,050
17日以内出荷
アルゴンガス(AR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体
アルゴンガス(AR)