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電離真空計のおすすめ人気ランキング
2026/03/18更新101件の「電離真空計」商品から売れ筋のおすすめ商品をピックアップしています。当日出荷可能商品も多数。「真空計」、「測定子」、「真空ゲージ」などの商品も取り扱っております。
佐藤真空電離真空計
多様な用途に対応可能な多機能、高精度の電離真空計です。
外部からのコントロールをはじめ、通信機能、BCD出力等オプション機能を充実させ、各種制御、FA化に貢献します。
トラスコ品番838-3576寸法(mm)W144×D340×H96質量(kg)4測定範囲9.9×10-2～1×10-7Pa種類真空計出力IV-55型 Φ15ゲージポート取付電源電圧AC100V/120V/240V±10% 50Hz/60Hz 85VA電源電圧(V)AC100/120/240±10% 50Hz/60Hz 85VA制御出力レコーダ出力 フルレンジDC5V/10V 切換接点出力 2点 110V AC 0.5A(抵抗負荷)測定流体気体圧力レンジ(Pa)9.9×10-2～1×10-7設定圧力単位Pa
1個
￥349,800税込￥384,780
30日以内出荷
ULVAC(アルバック)電離真空計
異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。
コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス
ユーザビリティ向上：PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
ラインアップの充実：アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定
世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中)：真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域(1×10+5～1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)
質量(g)約280(コントローラ)、80(測定子)使用温度範囲(℃)10～50出力測定値出力電圧 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁・圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}使用温度範囲ST200-A(10～50℃)適合規格CE精度(測定)1.0×10^-4～3.0×10+0Pa：±10%(ST200-A単体モード)、1.0×10^-4～1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10^4～1.0×10^5Pa：±20%(ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード)、1.0×10^-4～1.0×10^4Pa：±10% 1.0×10^4～3.0×10^5Pa：±3%F.S.(3.0×10^3Pa・基準温度25℃)(ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード)端末仕様対応：パソコン：Windows10 64bit 以降。スマートフォン：Android 6以上、USB TypeC電源電圧(V)DC20～28(リップル、ノイズ1%以下)8W以下保護等級IP30入力信号制御：FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理表示LEDPOWER/ERROR： パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化)測定子電離真空計測：ISG1外寸法(mm)ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、SAU+測定子/Φ30×67.5出力信号制御：センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視。定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1Vコネクタ入出力：D-sub15ピン(M2.6ネジ)保管温度範囲(℃)-20～65(非通電時、結露なきこと)表示更新時間60msec繰返し精度(%)(N2)ST200単体モード：±2耐圧(Pa)センサ：2×105(絶対圧)フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要湿度範囲(%)15～80(ただし、結露なきこと)サンプリング周期(ms)60(5回の移動平均処理)
ULVAC(アルバック)ディスプレイユニット(マルチイオンゲージ用)
大気圧から高真空領域の測定が可能です。
仕様●接続測定ユニット台数：1台●測定ユニット：”Model：G-TRAN”。ピラニ真空計SW100、ピラニ真空計SP1、マルチイオンゲージ(熱陰極電離真空計)ST200、マルチイオンゲージ(熱陰極電離真空計)SH200、冷陰極電離型真空計SC1、キャパシタンスマノメータCCMT-D●表示方法：LEDディスプレイ●適応装置：G-TRANシリーズの真空計を使い圧力表示を必要とする真空装置付属品電源コネクタ：PHOENIX社製：MSTB2、5/3-STF-5、08 1個。DINパネル止め具：固定金具 2本。取扱説明書：普通紙 1部質量(g)250種類真空計使用温度範囲(℃)10～40外形寸法(mm)DIN48×70×96(W×D×H)。オプションとしてJISラックサイズ×50mm×70mm×100mmも用意しています。電圧(V)DC24±1出力測定値出力：DC0V～10V疑似LOG出力、LOG、リニア出力 注：各ユニット毎に出力が異なります。更新時間：70ms。分機能：1mV。精度：圧力表示の電圧換算値に対して、±10mV適合規格CE表示仮数部2桁：指数部1桁のデジタル表示□.□×10□。圧力範囲：各測定ユニットの圧力範囲。更新時間：200ms。精度：測定ユニットからの圧力値に対して、±2%±1 digit (”Model：CCM”：フルスケールの1/10以下±4 digit)電源電圧(V)DC24±1リップル、ノイズ 1%以下入力信号制御：オープンコレクタ入力で動作、負論理。フィラメントなどの点灯信号、大気圧など調整信号など。セットポイント1、2、3通信方式シリアル通信：RS-485サンプリング70ms表示LEDERROR：SET-1。DEG：SET-2。ZERO：SET-3出力信号制御：オープンコレクタ出力、負論理[定格30VMAX、50mAMAX、70mW]。エラーなどの信号、フィラメントなどの点灯信号など。セットポイント1、2、3コネクタ(入出力)センサコネクタ：D-sub15ソケット(M2.6ネジ)。電源コネクタ：PHOENIX社製MSTB 2、5/3-STF、08アズワン品番3-6054-11設定圧力単位Pa消費電流2W(ディスプレイユニット単体)。注：その他接続ユニットの消費電力が加算されます。I/OコネクタD-sub15ピン(M2.6ネジ)湿度範囲(%)15～80(ただし、結露なきこと)サンプリング周期(ms)70(5回の移動平均処理)
1個
￥83,980税込￥92,378
当日出荷
用途ピラニ真空計GPシリーズ用測定子(消耗品)材質BS材質(本体)測定子フィラメント・白金(Pt)
ULVAC(アルバック)電離真空計(マルチイオンゲージ)
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。
材質測定子フィラメント・白金(Pt)質量(g)約280(コントローラ)、80(測定子)種類真空計使用温度範囲(℃)10～50外形寸法(mm)コントローラ部/69×63×90(W×D×H)電圧(V)DC20～28出力測定値出力電圧 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁・圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}適合規格CE表示デジタル・仮数部2桁/指数部1桁(LED表示)端末仕様対応：パソコン：Windows10 64bit 以降。スマートフォン：Android 6以上、USB TypeC電源電圧(V)DC20～28(リップル、ノイズ1%以下)8W以下保護等級IP30出力信号制御：センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視。定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1Vコネクタ入出力：D-sub15ピン(M2.6ネジ)内容積(cm3)19(センサ)保管温度範囲(℃)-20～65(非通電時、結露なきこと)表示更新時間60msec接続センサー接続可能センサ：マルチイオンゲージセンサ：1本耐圧(Pa)センサ：2×105(絶対圧)フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要取合フランジNW25湿度範囲(%)15～80(ただし、結露なきこと)サンプリング周期(ms)60(5回の移動平均処理)
ULVAC(アルバック)ピラニ真空計(アナログ仕様)
用途大学・研究機関での検査・実験装置の低真空測定に、分析装置・理化学機器の低真空測定にセット内容測定子、測定子ケーブル5m、検出ユニットGP-H材質(本体)測定子フィラメント・白金(Pt)種類真空計電圧(V)AC100～240電源(VA)10圧力測定範囲(Pa)0.4～2700
佐藤真空ペニング真空計
フィラメントの断線がなく、高真空領域での確実な放電を実現する放電監視機能を標準装備。
キー操作で取り扱いやすくデジタルとバーグラフで圧力状態を表示し、放電停止時など各種メッセージにより動作状態を確認できる安心機能付です。
トラスコ品番838-3459寸法(mm)W144×D220×H96質量(kg)1.8測定範囲5.0×10-1～1×10-6Pa種類真空計電源電圧AC100V～240V±10% 50Hz/60Hz 30VA電源電圧(V)AC100～240±10% 50Hz/60Hz 30VA制御出力レコーダ出力 フルレンジ DC5V/10V 切換接点出力 2点 110V AC 0.5A(抵抗負荷)測定子C-4A型 Φ15ゲージポート取付。測定子方式: C - 4A逆マグネトロン形コールドカソードゲージ圧力レンジ(Pa)5.0×10-1～1×10-6設定圧力単位Pa
1個
￥379,800税込￥417,780
30日以内出荷
ULVAC(アルバック)ピラニ真空計
仕様●セットポイント：3点付属品入力コネクタ：1個、電源コード：3m×1本、クイックマニュアル：1部質量(kg)コントロール：1.0種類真空計使用温度範囲(℃)10～40電圧(V)AC100～240適合規格CEアナログ出力DC0～10V リニア出力(103/102Pa f.s.)擬似LOG出力 (各レンジ1V)通信方式RS-232Cデジタル出力BCD測定範囲(Pa)0.4～2700測定精度(%)±50圧力表示LCD
ULVAC(アルバック)ピラニ真空計(デジタル仕様)
用途分析装置・理化学機器の低真空測定に、大学・研究機関での検査・実験装置の低真空測定に仕様●セットポイント：3点材質(本体)測定子フィラメント・白金(Pt)種類真空計使用温度範囲(℃)10～40電圧(V)AC100～240出力測定値出力：DC0-10V/リニア出力精度(%)±15(51～760Pa)、±30(10～1000Pa)、±50(0.4～2700/3000Pa)測定精度(%)±50電源(VA)10
ULVAC(アルバック)ピラニ真空計
気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。
フィラメント材に白金(Pt)を使用しており大気圧でも壊れません。
手軽に低真空領域の圧力を測定できる用途の広い真空計です。
用途真空粗引系の圧力測定
真空排気系の圧力モニタ
真空応用機器のインターロック、シーケンス制御などの制御系に
真空応用機器のプロセス制御仕様●セットポイント：無し●測定箇所：1付属品電源ケーブル：3m(コントロール一体)、クイックマニュアル：1部質量(kg)メーター：0.7、検出ユニット(GP-H)：0.035材質(本体)測定子フィラメント・白金(Pt)種類真空計使用温度範囲(℃)10～40外形寸法(mm)100×130×100(W×D×H)電圧(V)AC100～240出力測定値出力：DC0～10mV 非線形表示アナログ電源電圧(V)AC100～240使用湿度範囲15～80%(ただし結露なきこと)測定範囲(Pa)0.4～2700測定精度(%)直線目盛換算フルスケール100%の±3以内電源(VA)10設定圧力単位Pa湿度範囲(%)15～80(ただし、結露なきこと)
ULVAC(アルバック)高真空排気装置
1ミクロンまで測定可能な高性能デジタル真空計です。
任意に設定した真空度に到達した地点でランプが点灯します。
Lowバッテリー表示機能。
オートオフ機能付。
多少の冷凍機油が付着しても大丈夫な熱電対センサー採用。
接続口径1/4フレアメス付属品専用ケース、電池006P×1測定範囲1-20000使用温度範囲(℃)0～40電源(V)9(006P)電池精度(大気～1000ミクロン)指示値±5%/(1000～100ミクロン)指示値±3%/(100～1ミクロン)指示値1.5%センサー熱電対式圧力センサー機能オートオフ(10min)、設定真空値到達表示ランプ電池寿命(時間)15反応速度(秒)(サンプリング)4回本体寸法(高さ×幅×奥行)(mm)165×85×38ケーブル長(cm)最大150(巻きコード)表示切替(可能単位)micron(ミクロン)、Torr(トール)、mTorr(ミリトール)、mmHg(ミリエイチジー)、mBar(ミリバール)、Pa(パスカル)
1個
￥52,980税込￥58,278
当日出荷
EDWARDSAPG200-XM-NW16
1 ライトリングによる圧力表示
新開発のライトリングにより、 セントラルインターフェイスから離れまた場所でシステムの圧力を確認可能です。
2 コンパクトサイズ
APG100シリーズと比べ、 性能を損なうことなく25% 小型化しています。
3 長くなったフィラメント
独自設計によりフィラメント長の最大化に成功し、 感度の強化によって測定範囲の上限と下限の反応性も
向上しました。
4 内蔵フィルター
内蔵フィルターが測定セルを損傷させる粒子を除去するので、設置すればほぼ保守の必要はありません。
5 幅広い電源に対応
15～48Vの幅広い入力電源は業界最大で、電源を気にすることなくゲージを使用することができます。
6 取り付けが簡単
お客様が一番したくないのがソフトウェアの変更や時間のかかる適格性確認です。 そのため、 Edwardsでは最も一般的な出力に対応したモデルを取り揃えました。これにより、 アップグレードがさらに簡単になっています。
7 デジタル/アナログ
Edwardsのデジタルゲージとアナログゲージは設置面積が同じです。 データ収集/制御の必要性が増した場合、あとから簡単にアップグレードすることができます。
8 セットポイントリレー
Edwardsのゲージとしては初めて専用セットポイントリレーを装備しているので、幅広い連鎖アクションを起動することができます。
用途分析機器
真空で実現できる限界に挑戦しつつ、プロセスを完全に最適化し再現可能にすることが、常に最高を目指す上で重要です。
半導体
使用環境が過酷なことで知られていますが、このような環境でもファブが24時間無休で稼働することが極めて重要です。 そのため、すべての部品を厳しく監視することによって稼働時間の大幅な向上を実現します。
医薬
医薬および医薬関連のすべてのプロセスは、プロセスステップごとに異なった真空度を用いています。 プロセスステップで正確かつ信頼性の高い測定を行うことが一貫した出力を得るのに重要です。仕様セットポイント：0、1、2 (モデルによる)、過圧限界：10bar、デッドボリューム：3.3cm3、保守チューブと電子機器の交換材質真空接触部：タングステン/レニウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、 ステンレス鋼302S26寸法(mm)63×37×37 (対辺寸法)質量(g)130フランジNW16/25、DV16CF、 1/8" NPT、 4VCR、 8VCR、 ベアチューブ規格CE、UKCA出力シリアル：RS232またはRS485ケーブル長(m)100温度(℃)最高ベークアウト(電子機器非接触)：150寸法A(mm)37精度大気圧～100hPa ±50%。100hPa～1×103hPa ±15%。1×103hPa～5×10-4hPa ±50%寸法B(mm)52寸法C(mm)11範囲1.8～9.2Vアナログ出力0～10再現性(%)100～1×103hPaの間で読み値の2保護等級40インターフェースワンプッシュ式測定範囲(hPa)大気圧～5×104(大気圧～3.75×10-4torr)保護機能内蔵フィルターコネクタ電気：RJ45/9ピンD-sub保管温度(℃)-30～70RoHS指令(10物質対応)対応関連資料APG200データシート(0.82MB)インジケータステータス：360°高輝度LEDリング動作温度範囲(℃)5～60°供給電圧(V)直流15～48相対湿度(%RH)31℃まで80%、40℃以上では50まで線形に減少対応ソフトウェアLabviewドライバー接点定格直流48V (最大) 500mAコントローラ互換性：TIC/ADC/TAG
1個
￥89,980税込￥98,978
92日以内出荷
ULVAC(アルバック)スマートフォン対応ピラニ真空計
スマートフォンとのダイレクト接続です。USBケーブルによりスマートフォンとダイレクト接続(特許出願中)します。その他の設備は不要です。パソコンとの接続も可能です。
用途真空ポンプメンテナンス時の到達圧力確認に。真空装置メンテナンス時の圧力確認に。材質測定子フィラメント：白金(Pt)材質(本体)測定子フィラメント・白金(Pt)種類真空計使用温度範囲(℃)10～40外形寸法(mm)Φ46×81適合規格CE電源電圧DC+5%、350mAMAX精度±10%/±20%電源電圧(V)DC+5%350mAMAX保護等級IP30使用湿度範囲15～85%(但し結露なきこと)測定範囲(Pa)5×10-2～1×105繰返し性1×10-1～1×104Pa：±2%測定精度(%)(N2)1.0×10-1～1.0×10+4Pa：±10。5×10-2～1.0×10-1Pa、1×10+4～1.0×10+5Pa：±20取付姿勢制限無し保管温度範囲(℃)-20～65(但し結露なきこと)I/OコネクタUSB microB圧力測定範囲(Pa)5×10-2～1×10+5湿度範囲(%)15～85(ただし、結露なきこと)
ULVAC(アルバック)ピラニ真空計
種類真空計測定範囲(Pa)0.4～2700精度直線目盛換算フルスケール100%の±3%以内仕様●セットポイント：無し●測定箇所：1付属品電源ケーブル：3m(コントロール一体)、クイックマニュアル：1部質量(kg)メーター：1.4、検出ユニット(GP-H)：0.035材質(本体)測定子フィラメント・白金(Pt)使用温度範囲(℃)10～40外形寸法(mm)100×130×100(W×D×H)電圧(V)AC100～240出力測定値出力：DC0～10mV 非線形表示アナログケース付測定精度(%)直線目盛換算フルスケール100%の±3以内電源(VA)10設定圧力単位Pa湿度範囲(%)15～80(ただし、結露なきこと)
ULVAC(アルバック)ピラニ真空計(大気圧型)
大気圧を含む低真空領域(0.05～100000Pa)の測定が可能です。フィラメント材には耐久性に優れた白金(Pt)を採用しています。トランスデューサ型SW1-1は表示器不要でも使用可能です。
仕様●アナログ出力タイプ●測定子加熱上限温度：測定子単体150℃(SW100取り外し時)加熱時は、精度など仕様からの逸脱が認められます。SW100の使用温度範囲は、5℃～40℃です。付属品クイックマニュアル材質測定子フィラメント・白金(Pt)。その他：SUS304(SWP-1SはSUS316L/Ra<0.5)、FeNiCo、Ni、Au、 Glass、Ceramic質量(g)約105(SW100単体)使用温度範囲(℃)10～40出力測定値出力電圧：DC0V～10V、圧力指示：DC1.7V～8.0V、log 出力：DC1V/1桁、更新時間：50msec、分解能：3mV、誤差：±3mV、出力インピーダンス：10Ω適合規格CE電源電圧定格電圧値：DC24V。電圧変動範囲：DC14V～30VMAX(-42/+25%)(リップル、ノイズ 1%以下)。定常時：2.0W。電源投入時：4.8W。過電圧カテゴリ：カテゴリ1(過渡過電圧を十分低いレベルに制限する対策が取られている回路に接続下さい)ケーブル長(m)測定子：5出力電圧(V)レコーダー：DC0～10 LOG出力端末仕様対応：パソコン：Windows10 64bit 以降。スマートフォン：Android 6以上、USB TypeC電源電圧(V)DC24・AC100～240(ACアダプタ使用時)保護等級IP30入力信号制御：zero点/大気圧調整、調整クリア、オープンコレクタ入力で動作、負論理通信方式D-sub15-ピン。USB Type-C(USB Type-CはUL-MOBIによる通信のみに使用できます)測定範囲(Pa)5×10-2～1×105繰返し性1×10-1～1×104Pa：±2%測定精度(%)1×10-1Pa～1×10+4Pa：±10。5.0×10-2～1.0×10-1Pa、1×10+4Pa～1×10+5Pa：±20表示LEDPOWER/ERROR ： パワー、エラー表示。SET-1 ： セットポイント1。SET-2 ： セットポイント2測定子接続可能：1本/1pc出力信号制御：センサーエラー、セットポイント1/2、オープンコレクタ出力、負論理。定格：30VMAX、50mAMAX、70mWコネクタ入出力：D-sub15-ピンコネクタ(オス)、M2.6mmネジ。USB Type-C(USB Type-CはUL-MOBIによる通信のみに使用できます)取付姿勢制限無し保管温度範囲(℃)-20～65(非通電時、結露なきこと)調整方式zero点/大気圧調整、調整クリア圧力表示測定子破壊圧力：2×105 Pa(絶対圧)(フランジやクランプなどの破壊圧力は別途考慮ください)湿度範囲(%)15～80(ただし、結露なきこと)サンプリング周期(ms)60(5回の移動平均処理)
エスコデジタル真空計
簡易真空圧校正機能付
ケース付
自動ゼロ調整機能
※付属電池はテスト電池ですので新しい電池をご購入下さい。
仕様●電源：9Vアルカリ乾電池×1個(付属)●表示範囲：0～1Pa●精度：0～200ミクロン：±10ミクロン200ミクロン以上：±10%(読み値)●接続径：UNF7/16-20(1/4”フレア)ステンレス合金製ポート●計測方式：ピラニーセンサー式●重量：200g(電池含)●サイズ：175×80×30mmアズワン品番65-2166-99
1個
￥76,000税込￥83,600
当日出荷