- 仕様
- Heリーク：10-5TorrL/sec以下(25)
- 適合
- 流路径：0.8
- セット内容
- バルブ本体×1※電線50c 赤・青・白×各1(マイクロスイッチに付属)※シリコン整流器×2※ダイオード×2※ノイズキラー(CRユニット)×1※六角穴付ビス(4×8)×2※六角棒レンチ(3)×1※ナット×6※フェラル×6※取扱説明書×1
- 材質
- 接ガス部：PTFE、SUS316
- タイプ
- バルブ：2ポジションバルブ
- 寸法
- 駆動部：90(W)×140(D)×75(H)
- ポート数
- 6ポート
- 最高使用圧力
- 490
- 方式
- 駆動部：ソレノイドモーター式
- 表示
- 流路位置：組み込みマイクロスイッチの接点により、ランプなどで表示可能
- 入力
- 駆動：AC100V、50/60Hz(付属整流器接続)
- 最高使用温度(℃)
- 180oC
- シャフト長さ(mm)
- 中継：100
- 切換時間
- 駆動部：0.5秒
- 駆動方式
- タンデム型ロータリーソレノイドによる反復動作
- アズワン品番
- 60-9088-97
- 接続配管
- 1/16インチチューブカットオフ(1/16×0.8×120)
- 回転トルク(N・m)
- 0.22以下
