取付スペースが小さい腐蝕性ガスに対応可能なエアー駆動方式の小型グリースレスバルブです。腐蝕性ガスにおける各種流路切換に使用できます。流路内のデッドボリュームが最小限に抑えられており、ピークの広がりを防ぎます。接続には外径2mmのPTFEチューブを使用します。接ガス部には、耐腐食性の高いPTFEおよびPCTFEを採用しています。