仕様●流量：F.S.50sccm●接続：1/4インチSWL相当●ガス種類：AIR●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃)●応答性：6sec●流量制御範囲：5～100%FS●入出力：アナログ信号(0～5VDC)●バルブ形式：N/Cノーマルクローズ●再現性：±0.2%FS●動作圧力範囲：50～300kPa●耐圧：1MPa(G)●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム●電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)●サイズ：127×25.5×100mmアズワン品番67-8168-49
