直結型小型油回転真空ポンプ(ケミカルタイプ)

接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。
化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。