レーザ干渉計並みの0.005μmまたは0.01μmの高分解能と高精度を10mmのワイドレンジで実現。
コンパクトなボディは装置自体の小型化にも大きく貢献でき、高精度部品の測定や、高精度位置決め・制御装置の測長センサとしてはもちろん、測定機器類のマスタゲージとしても最適です。
低測定力仕様もラインアップ:用途に応じて低測定力仕様が選択でき、変形しやすいワークや高機能フィルムなどの測定も可能です。
LGHシリーズは専用カウンタとのセット仕様になります。
新規採用の光電式反射型リニア
エンコーダを搭載し、0.01μmの高
分解能、指示精度0.2μm、測定範囲10mmのワイドレンジを低価格で実現。
応答速度が従来製品比2 . 8 倍(250mm/s⇒700mm/s)に向上、高精度と高速性を両立しました。
