ダイアフラム(ゴム等の薄膜)の運動を利用する真空ポンプで、油を使用しないためにメンテナンスが容易で、オイルミストが発生しません。 1段排気方式(型式-S)は排気速度が大きく、一方の2段排気方式(型式-D)は高い真空度を作り出せます。 サーマルプロテクタ(過電流保護装置)内蔵しています。
