注意
※弁座漏れ:1.33×10^-6(Pa・㎥/sHe)以下は、中真空時の漏れ量となります。
※中真空でご使用の場合は、OUTポート側を真空引きしてください。
※低真空[1.33×10^2Pa(abs)]で使用可能ですが、弁座漏れは0.2㎤/min(ANR)以下となります。(正圧時の弁座漏れ量)。低真空でご使用の場合は使用圧力の下限が1.33×10^2Pa(abs)となるため、上限は0.1Mpa低くなります。
※サージキラ―は製品添付です。
※取付板、パネル取付板は製品添付です。
※付属品の取付板1.はメーカー製品FAB,FWBシリーズと互換性があります。
※詳細は各品番の仕様をご確認ください。