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C1005 マスフローコントローラー アズワン 20000034

C1005 マスフローコントローラー アズワン 20000034 C1005 マスフローコントローラー アズワン 20000034
アズワン

マスフローコントローラー

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内容量 1個 注文コード 20000034 品番 C1005
参考基準価格(税別)￥104,000 販売価格(税込) ￥113,300
販売価格(税別)
￥103,000

熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。

ガスの種類N2 アズワン品番3-5070-02 フルスケール流量1SLM 仕様(外部リークレート)1×10-7Pa・m3/sec(He)以下 材質(接ガス部)SUS316、PTFE、フッ素ゴム 寸法(mm)127×25.5×100 バルブ形式N/Oノーマルオープン 電源+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA 再現性±0.2%FS 耐圧(MPa)1(G) 接続1/4in.SWL相当 通信方式アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) 入出力アナログ信号(0～5VDC) 流量精度±2%FS(精度保証範囲15～35℃) 使用圧力範囲(kPa)50～300 応答性6sec 流量制御範囲5～100%FS

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