フランジサイズ40材質(シール)シール材質:VMQ;配合NO.:1232-70仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:バルブシール1(保守部品)、バルブシール2(保守部品)、外部シール(保守部品);リーク量:内部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石付)パイロットポート方向フランジ側表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地温度仕様/ヒータの有無5~60℃、ヒータなし