フランジサイズ40
材質(シール)シール材質:FKMForPlasma;配合NO.:3310-75
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品);リーク量:内部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa・m3/s以下
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
操作ポート方向フランジ面左
表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイト
オーダーメイド仕様標準
温度仕様/ヒータの有無5〜150℃、ヒータなし