真空ロッドレスシリンダ (CYV〜)

・真空環境内(1.3×10-4Pa)での搬送に使用可能なエアシリンダ。
・装置のコンパクト化・シンプル化
真空チャンバ内に設置可能なため、搬送システムのコンパクト化、シンプル化に貢献します。